目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，回FFU通过空气循环答过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。(1)MAU(Make―uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。3)DC(Drycoil)干盘管 大循环量的汇丰的冷却就是由排数少、迎面风速低、水温高(12～17"12)的干盘管承担，由于该冷却盘管的表面温度高于回风的露点温度，换热器的表面没有液体水洗出，即没有冷凝水，只是除去了室内空气的显热，故称其为干盘管。
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2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。
3)DC(Drycoil)干盘管 大循环量的汇丰的冷却就是由排数少、迎面风速低、水温高(12～17"12)的干盘管承担，由于该冷却盘管的表面温度高于回风的露点温度，换热器的表面没有液体水洗出，即没有冷凝水，只是除去了室内空气的显热，故称其为干盘管。
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